英文
400-888-0829
离线式晶圆超声扫描显微镜
应用规模
6、8、12寸晶圆jian合检测
装备优势
系统内无金属污染，设置微型情形（FFU）封装设计
知足扫描历程的Class2（100级）清洁度要求
支持高精扫描、快速扫描
可定制晶圆载具
可选配双探头
主要参数
形状尺寸
1200㎜(L)×1000㎜(W)×2000㎜(H)
探头设置
单探头
图像分辨率
1~4000μm
超声发射吸收带宽
1-500MHz
扫描模式
高精扫描、快速扫描（隔行差值扫描）
三轴平台
大理石平台
XY轴
直线电机、龙门双驱
治具
晶圆专用载具
上下料
手动放置
清洁度
百级
沪公网安备 31011202013830号